潔凈室內(nèi)往往存在著不容忽視的靜電危害，是導(dǎo)致電子器件、電子儀器和設(shè)備損壞或性能下降的重要因素之一，對(duì)芯片制造影響尤為重要。此外，靜電還是潔凈室在生產(chǎn)過(guò)程中有易燃易爆氣體或粉塵產(chǎn)生時(shí)，導(dǎo)致爆炸、火災(zāi)的元兇以及存在電擊傷人的隱患。潔凈室靜電對(duì)塵埃的吸附效應(yīng)，也易造成生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品各個(gè)壁面的塵埃聚集，以致影響潔凈室的環(huán)境和產(chǎn)品被污染。
1、相關(guān)的規(guī)范規(guī)定
潔凈室相關(guān)規(guī)范對(duì)靜電防護(hù)問(wèn)題，從設(shè)計(jì)到運(yùn)行都有具體的規(guī)定。例如，潔凈室設(shè)施應(yīng)選用既不會(huì)產(chǎn)生也不能蓄積大量靜電的建筑材料。為保護(hù)對(duì)靜電敏感的設(shè)備、器件、地面，電阻應(yīng)該在104～107Ω范圍內(nèi)，表面聚集電荷的限定值應(yīng)小于2kV等等。
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定：潔凈室地面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能并保持長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定。潔凈室地面表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，其表面電阻應(yīng)為1.0*105～1.0*1012Ω或體積電阻率為1.0*104～1.0*1011Ω.cm。潔凈室地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對(duì)地泄放電阻應(yīng)為1.0*105～1.0*109Ω等等。
2、靜電測(cè)試方法
靜電測(cè)試通常包括兩部分內(nèi)容，一是靜電測(cè)試本身，其目的是掌握產(chǎn)品表面上的靜電電荷和地面、工作臺(tái)面或其它設(shè)施的靜電電壓的耗散率；二是離子生成器測(cè)試，其目的是通過(guò)監(jiān)測(cè)器測(cè)量初始充電的放電時(shí)間和通過(guò)測(cè)定隔開(kāi)來(lái)的監(jiān)測(cè)板的補(bǔ)償電壓來(lái)評(píng)估其性能。上述兩部分測(cè)量結(jié)果都能反映清除或中和靜電荷的效率和產(chǎn)生的正負(fù)離子量間的不穩(wěn)定性。
（1）表面電壓水平的測(cè)量
通常采用靜電電壓計(jì)或場(chǎng)強(qiáng)計(jì)測(cè)定設(shè)備和產(chǎn)品表面的正負(fù)靜電荷，具體方法是把靜電電壓計(jì)或場(chǎng)強(qiáng)計(jì)的輸出調(diào)節(jié)為0，按儀器說(shuō)明書(shū)規(guī)定，讓探測(cè)器面朝接地的金屬板，探測(cè)頭保持使測(cè)孔平行于所規(guī)定的某個(gè)距離處放置的板，記錄下靜電電壓計(jì)的讀值。
（2）靜電耗散性的測(cè)量
通過(guò)測(cè)量表面上不同位置之間的電阻—表面電阻和表面和地面之間的電阻—漏電電阻，來(lái)評(píng)定靜電耗散特性。一般采用高電阻計(jì)來(lái)測(cè)量。
（3）離子生成器測(cè)試
本項(xiàng)測(cè)試的目的是用以評(píng)估雙級(jí)離子生成器的性能，測(cè)試內(nèi)容為測(cè)試放電時(shí)間和補(bǔ)償電壓，放電時(shí)間將用以計(jì)算離子生成器消除電荷的效率，補(bǔ)償電壓將用以評(píng)估在離子生成器生成的離子化氣體中，正負(fù)離子的不穩(wěn)定性。離子的不穩(wěn)定性會(huì)造成不利的殘余電壓。
測(cè)量工作由稱(chēng)之為“充電板監(jiān)測(cè)器”的設(shè)備完成，該設(shè)備由導(dǎo)電監(jiān)測(cè)板、靜電電壓計(jì)、計(jì)時(shí)器和電源等構(gòu)成。
（4）放電時(shí)間的測(cè)量
采用已知電容，例如20pF的絕緣導(dǎo)電板作為監(jiān)測(cè)板。開(kāi)始時(shí)用電源給監(jiān)測(cè)板充電并達(dá)到已知的正或負(fù)電壓，隨后將監(jiān)測(cè)板暴露在被評(píng)估的雙級(jí)離子生成器所離子化的氣體中，用靜電電壓計(jì)測(cè)量充到板上的靜電荷，同時(shí)以計(jì)時(shí)器配合測(cè)量板上電壓隨時(shí)間的變化。
放電時(shí)間的定義是：監(jiān)測(cè)板上的靜電荷減少到100%初始電壓所需的時(shí)間。由用戶(hù)和供應(yīng)商協(xié)商確定作為驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試點(diǎn)的位置和測(cè)定結(jié)果。
（5）補(bǔ)償電壓的測(cè)量
采用類(lèi)似的監(jiān)測(cè)板裝在絕緣器上，用靜電電壓計(jì)監(jiān)測(cè)絕緣板上的電荷，以測(cè)量補(bǔ)償電壓。開(kāi)始時(shí)，將監(jiān)測(cè)板接地，去除殘余電壓，確認(rèn)板上的電壓為0，隨后把板暴露在離子化的氣體中，直到電壓計(jì)的讀數(shù)穩(wěn)定，該值即為所測(cè)的補(bǔ)償電壓。離子生成器的允許補(bǔ)償電壓，決定于工作區(qū)的物體對(duì)靜電荷的敏感性，所以允許的補(bǔ)償電壓應(yīng)由用戶(hù)與供應(yīng)商協(xié)商確定。
（6）測(cè)試報(bào)告
1）儀器使用者或數(shù)據(jù)采集設(shè)備的名稱(chēng)；
2）測(cè)試儀器的名稱(chēng)及其校準(zhǔn)狀態(tài)；
3）測(cè)試和測(cè)量類(lèi)型及其測(cè)量條件；
4）溫度、濕度和環(huán)境數(shù)據(jù)；
5）測(cè)點(diǎn)位置；
6）潔凈室檢測(cè)時(shí)所處的狀態(tài)。