1、液態(tài)環(huán)境總顆粒數(shù)（通過模擬測試潔凈抹布在液態(tài)環(huán)境下實際使用過程中產(chǎn)生的顆?？倲?shù)，確定抹布在潔凈環(huán)境中的適應(yīng)性），一般計算≥0.5μm和≥5μm的顆粒數(shù)，單位是（millionparticles/m2)，顆粒越少表示抹布性能越好。
2、空載顆?？倲?shù)（測量抹布（或其它材料）在產(chǎn)生與實際使用中的應(yīng)力類似的應(yīng)力的情況下在干燥狀態(tài)下釋放的空載顆粒的數(shù)），一般計算≥0.5μm的顆粒總數(shù)(單位Particles/m2/ft3)。
3、纖維釋放數(shù)（通過測量抹布在液態(tài)環(huán)境中承受特定量的應(yīng)力（模擬實際使用）后的總纖維負載數(shù)。一般計算＞100微米的纖維數(shù)目，單位fibers/平米。
4、不揮發(fā)殘余物測試。
5、吸附能力（吸附速度和吸附量，吸附速度越快吸附量越大性能越好）。
6、更換過濾器的過程，不能觸碰過濾器的濾芯表面，四周密封無漏氣。更換完畢后，潔凈室不能立馬投入使用中，需要檢測是否合格。
無塵檢測主要看幾個方面：首先檢基本特性，看離子數(shù)是否合格，出風(fēng)口風(fēng)速如何。盡量多檢測幾個點，如果不放心可以請第三方檢測機構(gòu)代為檢測。風(fēng)速不夠，或者需要局部凈化可選擇FFU來進行補充。